TOPFLON PTFE 超纯水加热器

 TOPFLON 超纯水加热器

超纯水加热功率36-144kW，支持多机并联

加热温度可达80℃，最大流量45L/min

超纯PTFE加热腔体，PFA管路系统确保洁净度

温控温度计：PT100

全自动温控系统，温度控制精度高

支持设备通讯

具备过温，空烧，漏液等异常安全状态的报警功能

产品特征：高性能温度控制系统，温度稳定

                 低金属离子溶出、活水设计、具备漏液检测，过温检测，防空烧等功能；

                 符合SEMI S2 / F57标准

产品用途：半导体、显示面板、光伏制造等湿法清洗和蚀刻工艺中加热超纯水的供应过程